Nicolet ECO 3500 FT-IR

300mm半導体分析用

Nicolet ECO 3500 は 300mm ウェハ対応の膜管理用 FT-IR です。定評あるサーモフィッシャーサイエンティフィックの半導体分析用 ECO ソフトウエアは、優れた定量プログラムであらゆるアプリケーション解析を容易にします。

  • 抜群のスループットと高信頼性
  • 300mmウエーハ、クラス1クリーンルーム対応 。
  • BOLTSローダに適合したFoupおよびウエーハカセットに対応（混在も可）
  • SEMI S2/S8適合、SECS/GEM/HSMS対応
  • 測定項目 Epi膜厚/CO濃度/BPSG、PSG膜P、B濃度/窒化膜Si-H、N-H濃度/その他 (SOI、SiON、TEOS、FSG、SILKなど)