Nicolet ECO RS FT-IR

半導体分析用 FT-IR

Nicolet ECO-RSは12インチウェーハに、定評あるサーモフィッシャーサイエンティフィック半導体分析用ECOソフトウェアを用い、高精度、高信頼性測定を可能にした新時代の半導体専用FT-IRです。

世界シェアNo.1を誇る高性能FT-IRと2～12インチウェーハに対応可能な自動プロファイリング装置で構成され、従来のエピタキシャル膜厚や、酸素・炭素濃度測定はもちろんのこと、最新のプロセス技術で成膜された各種フィルム解析を面内分布出力形式で簡単に得られます。