ESCALAB250
高性能X線光電子分光装置
高感度・高エネルギー分解能を重視する測定に最適な高性能 X 線光電子分光装置です。 特徴としてイメージ分解能 3 μ m でのイメージング XPS が得られます。 フィールドエミッションオージェや紫外線光電子分光法との複合化が可能です。
- パラレルイメージング機能
- XPS イメージング分解能 ＜3 μm
- 化学状態イメージの高速取得
- 高精度な試料位置合わせ
- 反射電子によるリアルタイムイメージ
- 専 用 XL レンズ採用
- ツインクリスタルモノクロメータX 線源
- Windows R ベース、データシステム搭載
- オプション選択により UPS / AES 等、複合分析装置化に対応
XPS の最高性能を求めて、蓄積した技術を結集
専用レンズにより高感度と高エネルギー分解能の両立を実現
