Theta　Probe
角度分解型微小領域X 線光電子分光装置

世界唯一の同時角度分解測定機能試料最表面の化学状態測定を高いデータ信頼性と最小のサンプルダメージと共に

試料を傾けずに同時角度分解が行なえる X 線光電子分光装置です。
最大エントロピー法により角度プロファイルを深さプロファイルに容易に変換可能です。
微小領域測定 15 μ m から最大 400 μ m まで X 線のスポットサイズを選択できるため多様な試料に最適の測定条件が設定できます。